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| 碳化硅硅碳棒老化的原因分析 |
碳化硅硅碳棒老化的過程主要是由于電阻值的增加導致壽命降低的過程，由于碳化硅硅碳棒在除氣箱中長期加熱，溫度達到800℃以上，硅碳棒長期使用能與氧氣和水蒸表1碳化硅硅碳棒對應溫度發生化學反應。
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│溫度℃│發生的化學反應 │溫度℃│發生的化學反應 │
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│1000 │堿險物質侵蝕硅碳棒 │1200 │氫氟酸、氟化物破壞Si C保護膜 │
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│1200 │氨氣分解為N2, H:開始與硅碳棒反應│1300 │硫磺與硫腐蝕硅碳棒 │
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│1200 │氯氣完全分解硅碳棒中的Si C │1400 │氮氣與硅碳棒生成一系列的氮化物│
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氣發生如下化學反應:
SiC+202二Si02+CO2 SiC+4H20二Si02+C O2+4H2
隨著使用時間的延長，硅碳棒中Si0:含量逐漸增加，電阻值隨之增加，從而加速硅碳棒的老化。同時水蒸氣過多，會促進SiC氧化，氧化過程中產生的H:與空氣中的O:結合又生成H20,導致產生惡性循環，從而降低硅碳棒的使用壽命。硅碳棒在1350℃以上時，硅碳棒會與氮氣反應生成一系列的氮硅化合物，加快老化速度。隨著加熱溫度的變化，碳化硅硅碳棒會發生一系列化學反應(如表1所示)，導致硅碳棒老化損壞。www.coxss.com
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